[전상훈교수 사진]
｢반도체의 날｣은 우리나라 반도체 수출이 최초로 연 100억 달러를 돌파한 1994년 10월을 기념하여 제정된 이후 15회를 맞은 올해 행사는 반도체 산업발전에 기여한 산·학·연 유공자에 대한 포상을 통해 그간의 노고를 격려하는 자리로 특히, 올해는 한국반도체산업협회 창립(‘91.11.11일) 32주년을 맞아 반도체 업계가 새로운 혁신과 도전을 다짐하는 자리로 의미가 있다.
산업자원부장관 표창 수상자로 선정된 전상훈 교수는 CMOS와 공정 호완성이 높은 하프니아 강유전체 소자의 조기 상업화를 위해 고압 (>200atm) 열처리, 음의 정전용량 소재의 안정화, Focused Microwave Anneal과 같은 혁신적인 공정 도입과 다양한 박막공정과 소자개발을 개발을 통해 세계적인 리더쉽을 인정받아 반도체 산업 유공자 포상자로 선정되었다.
데이터를 로컬에서 분석하고 자율적으로 행동 방침을 결정할 수 있는 Edge Intelligence (EI)가 필요한 상황에서 기존 소자는 무어의 법칙과 폰 노이만 컴퓨팅 아키텍처의 한계에 봉착해 있고, 이는 기존 전자 장치의 성능과 에너지 효율성을 제한하고 있다. CMOS 공정과 호환이 가능한 하프니아 기반 강유전체 전자소자는 Edge Intelligence를 현실로 만드는 새로운 기회를 열어줄 것으로 기대된다.
전상훈 교수와 연구팀은 차세대 미래 소자로 주목받고 있는 하프니아 기반 강유전체 전자소자의 조기 상업화를 위해 다양한 핵심 공정 개발 수행하여, 소자의 특성, 신뢰성 및 산포 개선에 효과적인 다수의 기술을 확보, 임계압 (>200atm) 열처리 공정, 음의 정전용량 소재의 안정화, Focused Microwave Anneal, Fast Ramping Fast Cooling과 같은 혁신적인 공정 도입과 자가 정류 기능의 강유전체 터널졍션 소자, 1T-nC, 3D 구조의 페로소자의 실험적 규명을 통해, 페로전자소자의 개발에 기여하였다.
본 연구결과는 또한 전자소자분야 최고권위의 국제학회IEDM 2021발표되었고, 금년 IEDM 2022에서도 발표될 예정이다.
