MOSFET 소자의 물리현상과 소자 소형화에 따른 효과를 밀도 있게 다룬다. 최근 나노소자 MOSFET에서 활발하게 진행되고 있는 신구조, 신물질을 이용한 기술 동향에 대해 소개를 하고, 구체적 응용 사례로서, 다양한 메모리 소자를 다룬다. 또한 양자효과, 소자의 신뢰성, 모델링을 다룸으로써 차세대 소자에 대한 충분한 기본 지식과 응용 능력을 갖추도록 한다.
집적회로 제조에 필수적인 미세패턴 형성, 실리콘 산화막의 성장, 불순물 확산, 이온 주입, 박막 형성, 상호연결, 패키징, 종합공정 및 새로 등장한 마이크로머시닝 기술 등 집적회로의 제조 공정을 다룬다.
이 강의는 정보통신 소자에서 사용하는 도체, 반도체, 유전체, 열전체, 그리고 자성체 등의 고체물리를 기초적인 이론과 그 응용 가능성을 함께 강의한다. 양자우물, 양자선, 양자점과 같은 나노구조에서 발생하는 새로운 물리적, 전기적, 및 광학적 특성들을 강의하고 이를 이용한 소자들에 대해 다룬다.
Copyright ⓒ 2015 KAIST Electrical Engineering. All rights reserved. Made by PRESSCAT
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